PVD硬质合金涂层的优点

硬质合金耐高温性，广泛使用CVD镀膜工艺。但是PVD由于低温、高纯膜、超薄有自身显著特点：

1. 相对于CVD而言，通常低于600℃，对硬质合金刀具的抗弯曲程度几乎没有改变
2. PVD涂层内部为压应力状态，硬质合金的可塑性强，适合精密零件
3. 微米级均匀膜厚控制，不用二次修磨，更好的控制工件的尺寸和加工精度
4. 符合环保要求

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PVD硬质合金涂层的缺点

相对CVD涂层而言，PVD的缺点也很明显。因此灵兮认为工艺会有使用边界：

1. PVD成本更高
2. 寿命比CVD涂层短，抗冲击力、耐磨性都不如CVD
3. 内控和狭缝镀不到

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PECVD的技术突破路线

由于CVD和PVD都有明显的技术缺陷，因此产生了PVD、CVD相结合的等离子体化学气相沉积技术PECVD，它具有PVD的低温和CVD易于调节化学成分于结构的性能，但主要问题是真空度低，涂层杂质含量高，沉积速率过快导致的涂层晶格存在严重缺陷等问题，还处于技术发展阶段。PECVD有明显的技术优点：

1. 利用电极产生等离子体，将化学反应温度降低到600℃以内
2. 基材于真空镀膜之间的混度低，使基材保持原有的韧性

PECVD继承了优点，同时也继承了缺点

1. 工艺过程产生有害气体，不环保
2. 设备成本高、对气体纯度要求高
3. 于PVD类型，小孔狭缝镀不好