\u8868\u9762\u5931\u6548\u539f\u56e0\uff1a<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\nPVD\u6253\u6837\u6d4b\u8bd5<\/h2>\n\n\n\n
\u7b2c\u4e00\u6b21\u6253\u6837\u5931\u8d25\uff0c\u6e29\u5ea6\u9ad8\u4e8e300\u2103\uff0c\u4e0a\u6302\u65b9\u5f0f\u4e0d\u5408\u9002\uff0c\u5bfc\u81f4\u57fa\u6750\u53d8\u5f62\u91cf\u8d85\u8fc7\u8981\u6c42\uff1b\u7b2c\u4e8c\u6b21\u9540\u819c\u6709\u5c40\u90e8\u8131\u843d\uff0c\u9700\u6df1\u5ea6\u6e05\u6d17\u6df1\u5b54\u6cb9\u8d28\uff1b\u7b2c\u4e09\u6b21\u6253\u6837\u5931\u8d25\uff0c\u5de5\u4ef6\u5728\u524d\u540e\u5904\u7406\u8fc7\u7a0b\uff0c\u6216\u8005\u8fd0\u8f93\u8fc7\u7a0b\u4e2d\u76f4\u89d2\u8fb9\u53d7\u635f\uff0c\u589e\u52a0\u663e\u5fae\u955c\u4eba\u5de5\u590d\u68c0\u3002<\/p>\n\n\n\n
\u5fd8\u8bb0\u4e86\uff0c\u4e00\u4e2a\u6708\u5de6\u53f3\u5427\uff0c\u6253\u6837\u6210\u529f\uff01\u6709\u4e00\u4e2a\u56e0\u591a\u6b21\u6d4b\u8bd5\u800c\u8d85\u8fc77\u5929\u6d82\u5c42\u6253\u6837\u7684\u9879\u76ee\u3002<\/p>\n\n\n\n
PVD\u6c2e\u5316\u94ec\u6d82\u5c42\u7684\u4f18\u52bf<\/h2>\n\n\n\n01 \u6c2e\u5316\u94ec\u6d82\u5c42VS\u7535\u9540\u786c\u94ec<\/h4>\n\n\n\n
\u6c2e\u5316\u94ec\u6d82\u5c42\u4e0d\u80fd\u66ff\u4ee3\u786c\u94ec\u7535\u9540\uff0c\u4e0d\u80fd\u5b8c\u7f8e\u5c01\u88c5\u6a21\u5177\u3002\u4f46\u7531\u4e8ePVD\u5de5\u827a\u4f18\u52bf\uff0c\u5fae\u7c73\u7ea7\u819c\u539a\u4e14\u5747\u5300\uff0c\u786c\u5ea6\u9ad8\uff082-3\u500d\u4e8e\u786c\u94ec\uff09\uff0c\u65e0\u5806\u8fb9\u53ef\u4fdd\u6301\u950b\u5229\u7684\u8fb9\u6216\u89d2\u3002PVD\u6d82\u5c42\u662f\u4e00\u79cd\u81f4\u5bc6\u3001\u8fde\u7eed\u7684\u6d82\u5c42\uff0c\u800c\u786c\u94ec\u5177\u6709\u5fae\u88c2\u7eb9\u3002PVD\u4e3a\u73af\u4fdd\u5de5\u827a\uff0c\u65e0\u516d\u4ef7\u94ec\u6790\u51fa\u7b49\u6c61\u67d3\u95ee\u9898\u3002<\/p>\n\n\n\n
PVD\u6c2e\u5316\u94ec\u6d82\u5c42\uff0cHF1-2\u7ea7\u9ad8\u5f3a\u7ed3\u5408\u529b\uff0c\u9540\u819c\u4e0d\u4f1a\u8d77\u6ce1\u3001\u5265\u843d\u6216\u5265\u843d\u3002<\/p>\n\n\n\n
\n\n\n\n02 \u6c2e\u5316\u94ec\u6d82\u5c42VS\u6c2e\u5316\u949b\u6d82\u5c42<\/h4>\n\n\n\n
CrN\u6d82\u5c42\u662f\u4e00\u79cd\u6bd4TiN\uff082200HV\uff09\u66f4\u8f6f\u7684\u6d82\u5c42\uff0c\u8010\u78e8\u6027\u8f83\u4f4e\uff0c\u56e0\u6b64\u5728\u8bb8\u591a\u5e94\u7528\u4e2d\uff0c\u5b83\u7684\u4f7f\u7528\u5bff\u547d\u6bd4\u5176\u5b83\uff08\u8f83\u786c\uff09PVD\u6d82\u5c42\u77ed\u3002\u4e3b\u8981\u7528\u4e8e\u6a21\u5177\u3001\u96f6\u4ef6\u6d82\u5c42\uff0c\u800c\u4e0d\u540c\u4e8e\u6c2e\u5316\u949b\u662f\u5200\u5177\u901a\u7528\u6d82\u5c42\u3002<\/p>\n\n\n\n
\u4e0eTiN\u76f8\u6bd4\uff0cCrN\u7684\u5e94\u7528\u6e29\u5ea6\u8303\u56f4\u7565\u6709\u6269\u5927\uff0c\u5e76\u5177\u6709\u66f4\u9ad8\u7684\u8010\u6e29\u6027\u548c\u66f4\u9ad8\u7684\u57fa\u5e95\u9632\u8150\u6027\u3002\u8fd9\u662f\u7531\u4e8e\u5728\u9ad8\u6e29\u6761\u4ef6\u4e0b\uff0c\u8868\u9762\u6c27\u5316\u5c42\u6676\u683c\u95f4\u9699\u4f4d\u7f6e\u7684\u5206\u5b50\u6c2e\u4e0eCrN\u57fa\u4f53\u6df7\u5408\u5f62\u6210\u56fa\u6eb6\u786c\u5316\u7ed3\u6784\uff0c\u5f62\u6210\u4e86\u5206\u5e03\u7cbe\u7ec6\u7684Cr2O3\u6c27\u5316\u7269\u76f8\u3002\u8fd9\u79cd\u7ed3\u6784\u662f\u4e00\u79cd\u826f\u597d\u7684\u6c27\u6c14\u6269\u6563\u5c4f\u969c\uff0c\u5b83\u53ef\u4ee5\u4fdd\u62a4\u8584\u819c\u7684\u5185\u90e8\uff0c\u5e76\u6269\u5c55\u5176\u6e29\u5ea6\u8303\u56f4\u3002<\/p>\n\n\n\n
\u4e0e\u6240\u6709\u5e38\u7528\u7684\u786c\u8d28\u8010\u78e8\u529f\u80fd\u6d82\u5c42\u4e00\u6837\uff0c\u5b83\u5177\u6709\u9ad8\u5ea6\u7684\u60f0\u6027\uff0c\u5728\u4e2d\u4f4e\u6e29\u4e0b\u4e0d\u4f1a\u53d1\u751f\u5316\u5b66\u53cd\u5e94\u6216\u8150\u8680\uff0c\u5e76\u4e14\u5177\u6709\u4f18\u5f02\u7684\u5316\u5b66\u7a33\u5b9a\u6027\u3002\u5b83\u589e\u5f3a\u4e86\u6d82\u5c42\u90e8\u4ef6\u7684\u8010\u8150\u8680\u6027\uff0c\u4f46\u4e0d\u80fd\u5b8c\u5168\u5c01\u88c5\u96f6\u4ef6\u3002<\/p>\n\n\n\n